半导体级MPCVD设备
德盟特是国内MPCVD设备的领先供应商,提供业界最广泛的微波等离子化学气相沉积系统。这些设备已经交付多家研究单位,他们采用我们的系统在许多领域进行科学研究,从半导体制造到通信、国防、电子测量等广泛领域。
我们不仅为客户提供先进的CVD金刚石反应系统,还提供全面的客户支持、系统集成和售后服务。我们提供许多技术优势,包括验收测试安装、维护和修理、工艺和应用支持等技术咨询。常见产品见下表:
产品特点 | |
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采用水冷全金属腔体 | |
简洁明了的用户图形界面 | |
稳定的高功率、高密度等离子体 | |
现场监测和诊断的多种采集端口 | |
计算机控制的自动模式和手动个性化控制模式 |
应用 | |
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电子级单晶金刚石衬底 | |
电子级单晶金刚石衬底外延 | |
光学级多晶金刚石衬底 | |
高品质培育钻石 | |
切削工具 |
01. DH6A—MPCVD
常规配置及参数 | |
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电源输入 : | 三相 380V (±10%), 15KVA |
微波电源功率: | 6KW(2.45GHz) |
样品台 : | 8英寸水冷铜台 |
腔体生长压力: | 10-200Torr |
气体管路 : | 标配4路(H2、O2、CH4、N2) |
反应腔体 : |
卧式蝶形上翻盖金属水冷腔体 (带4个观察窗) |
主机柜尺寸 : |
900mm(W)×850mm(D)×1680mm(H) (约320Kg) |
控制柜尺寸 : |
570mm(W)×850mm(D)×1800mm(H) (约240Kg) |
02. DH5S—MPCVD
常规配置及参数 | |
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电源输入 : | 三相 380V (±10%), 15KVA |
微波电源功率: | 6KW(2.45GHz) |
样品台 : | 2英寸可升降水冷台 |
腔体生长压力: | 10-200Torr |
气体管路 : | 标配4路(H2、O2、CH4、N2) |
反应腔体 : |
不锈钢柱形双层水冷腔体 (带5个观察窗) |
主机柜尺寸 : |
1500mm(W)×700mm(D)×2100mm(H) (约380Kg) |
控制柜尺寸 : |
570mm(W)×850mm(D)×1800mm(H) (约240Kg) |
03. DH10A—MPCVD
常规配置及参数 | |
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电源输入 : | 三相 380V (±10%), 15KVA |
微波电源功率: | 10KW(2.45GHz) |
样品台 : | 8英寸水冷铜台 |
腔体生长压力: | 10-200Torr |
气体管路 : | 标配4路(H2、O2、CH4、N2) |
反应腔体 : |
卧式蝶形上翻盖金属水冷腔体 (带4个观察窗) |
主机柜尺寸 : |
900mm(W)×850mm(D)×1680mm(H) (约320Kg) |
控制柜尺寸 : |
570mm(W)×850mm(D)×1800mm(H) (约240Kg) |
04. DH15A-MPCVD
常规配置及参数 | |
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电源输入 : | 三相 380V (±10%), 15KVA |
微波电源功率: | 15KW(2.45GHz) |
样品台 : | 8英寸水冷铜台 |
腔体生长压力: | 10-200Torr |
气体管路 : | 标配4路(H2、O2、CH4、N2) |
反应腔体 : |
卧式蝶形上翻盖金属水冷腔体 (带4个观察窗) |
主机柜尺寸 : |
900mm(W)×850mm(D)×1680mm(H) (约320Kg) |
控制柜尺寸 : |
570mm(W)×850mm(D)×1800mm(H) (约240Kg) |
05. DH75A—MPCVD
常规配置及参数 | |
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电源输入 : | 三相 380V (±10%), 15KVA |
微波电源功率: | 75KW (915 MHZ) |
样品台 : | 23英寸水冷铜台 |
腔体生长压力: | 10-200Torr |
气体管路 : | 标配4路(H2、O2、CH4、N2) |
反应腔体 : |
卧式蝶形上翻盖金属水冷腔体 (带6个观察窗) |
如您有在金刚石半导体级MPCVD设备方面有特殊要求,请与我们联系,我们将根据每位客户需求,定制合适的MPCVD设备。常规选配方案见下表:
常规配置及参数 | |
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1 : | 反应气体通路(可根据用户需求增配,最多6路) |
2: | 干泵 |
3 : | 双波长红外测温仪(475-1475℃) |
4: | 消隐式光学高温计(800-2850℃) |
5 : | 等离子体光学波谱分析仪 |
6 : | 设备自动/手动操作平台 |
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18681892673
营业时间:工作日:上午8:30至下午5:30