电子级单晶金刚石衬底
01.单晶金刚石衬底
| 常规产品 | |
|---|---|
| 晶面 : | {100} |
| 尺寸（长宽）: | 1mm×1mm-20mm×20mm |
| 厚度 : | 0.2mm-3mm |
| 横向公差 : | ±0.05mm |
| 表面粗糙度 : | 普通（Ra≤5nm）；精抛（Ra≤1nm） |
| 杂质浓度 : | N≤5ppm；B & Si小于SIMS检测下限 |
| XRD FWHM : | 100arcsec；60arcsec；40arcsec（可选） |
| XRD offset : | ＜3° |
| 位错密度 : | ＜10^5/cm |
| 热导率 : | ＞2000 W/m·K |
| 定制参数 | |
|---|---|
| 1 | 晶面{111}，尺寸≤5mm×5mm |
| 2 | 激光切割加工多角度、形状 |
| 3 | 大尺寸≤2英寸 |
02.单晶金刚石拼接衬底
| 常规参数 | |
|---|---|
| 拼接方式 : | 4个10mm×10mm电子级单晶金刚石衬底拼接 |
| 晶面 : | {100} |
| 尺寸（长宽） : | 1mm×1mm-20mm×20mm |
| 厚度 : | 0.5mm-2mm |
| 横向公差 : | ±0.05mm |
| 激光切面角度 : | ＜0.5° |
| 表面粗糙度 : | 普通（Ra ≤5nm）；精抛（Ra ≤1nm） |
03.单晶金刚石外延
| 常规参数 | ||
|---|---|---|
| 氢终端单晶金刚石外延 | 尺寸: | 1mm×1mm-20mm×20mm |
| 表面粗糙度: | Ra＜2nm | |
| 氧终端单晶金刚石外延 | 尺寸: | 1mm×1mm-20mm×20mm |
| 表面粗糙度: | Ra＜1nm | |
| B掺杂单晶金刚石外延 | B浓度: | 2X10^16-1X10^17/cm3 |
| 薄膜厚度: | 可商议 | |
| 迁移率: | ＞1500 cm2/V·s | |
如您有在电子级单晶金刚石衬底方面有特殊要求，请与我们联系，我们将根据每位客户需求，定制合适的电子级单晶金刚石衬底。常见产品见下表：
| 常见产品型号 | 尺寸 | 主要参数 |
|---|---|---|
| DD335 | 3mm×3mm×0.5mm | XRD offset 1°、电子级 |
| DD10105PPV | 10mm×10mm×0.5mm | 双面精抛、电子级 |
| DD20205P | 20mm×20mm×0.5mm | 单面精抛、电子级 |
| DD40401P | 40mm×40mm×1mm | 常规单面抛光、电子级 |
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18681892673
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